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平台简介
发表时间:2013-01-11 阅读次数:8779次

        平台依托于专用集成电路与系统国家重点实验室的工艺技术子平台,致力于整合产学研资源,搭建基于CMOS工艺的新型器件研发公共服务平台。

        目前平台建立了以“国家重大专项总体组专家”张卫教授为带头人,以微纳米电子材料、工艺与器件为研究方向的研究团队。平台拥有教授8名,副教授1名。其中包括国家杰出青年科学基金获得者1名、教育部新世纪优秀人才2名、上海市千人计划2名、上海市东方学者2名和上海市浦江人才计划2名。同时,平台拥有微电子专业中级工程师3名,初级工程师2名为平台的专业技术服务提供支持。

        平台拥有主体千级、部分区域百级、总洁净面积达到约800平米的洁净室,放置了先进的集束系统(集成了PVD/ALD/RTP/XPS等)、铜互连先进扩散阻挡层淀积和分析系统、纳米管和石墨烯淀积设备、反应离子刻蚀、微波退火系统等关键设备,同时洁净室还放置了高端电子束曝光设备JEOL 6300 FS和ICP刻蚀等关键设备,显著提升了工艺研究方向的服务能力,对微电子学科的发展具有重大意义。

       平台瞄准国际集成电路、超深亚微米/纳米电子材料与工艺和超高速电子器件的发展前沿,面向国家重大需求,开展微纳电子器件与工艺关键技术的研发,力争解决国家在极大规模集成电路制造工艺领域中的部分重大科学和技术问题。近年来平台负责承担和完成了包括国家“02重大专项”、“863”计划及国家自然科学基金等项目在内的各类项目共计近50项。目前为止,平台已出版中英文专著6部,并在Advanced Materials、Applied Physics Letters、IEEE Electron Device Letters、IEEE Transaction on Electron Device和Journal of Applied Physics等专业期刊上发表论文近300余篇,申请专利150多项。此外,平台积极开展国内外学术交流与合作,并与国内多家集成电路制造公司的领头企业,如中芯国际、华虹NEC等,建立了长期深入的合作关系。平台的发展目标是在微纳电子领域的学术研究、人才培养和应用技术等方面在国内处于领先水平,部分研究成果达到国际一流水平。


 

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