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丁士进教授课题组成功举办Low-K项目年度研讨会
发表时间:2014-01-21 阅读次数:2730次

        2014年1月19日-1月20日,复旦大学微电子学院丁士进教授在上海市新崇大酒店举行了超低K互连材料及有机液态源研发与产业化方面的项目研讨会,会期2天。会议参与单位包括中国科学院有机化学研究所、中国科学院上海高等研究院、上海爱默金山药业有限公司、复旦大学以及苏州大学这五个课题单位,与会人员共16名。

        丁教授首先组织与会人员参观了复旦大学微纳电子器件与工艺实验室,重点介绍了净化实验室内的PVD、PECVD、CV/IV测试平台等设备,并且共同探讨了如何进一步将有机液态源加入PECVD设备来制备Low-K材料等一系列项目亟需解决的问题。

        随后,与会人员于上海新崇大酒店会议室中继续召开了Low-K项目的年度研讨会。会议中,各课题单位汇报了课题的研究进展情况以及财务执行情况,并且经过深入探讨,对超低K互连材料及有机液态源研发与产业化项目在来年的技术目标和财务执行方面提出了进一步的要求以及很多建设性的意见,为课题的顺利开展打下了良好的基础。

 

 

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