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微电子学院微纳电子器件与工艺实验室正式对外开放
发表时间:2013-06-12 阅读次数:4070次

      复旦大学作为我国微电子学科的创建者之一,又地处我国集成电路产业最聚集的地区上海,具有建设好微电子学院的独特优势。复旦大学微电子学院围绕国家重大需求,在高端人才培养、科学研究和成果转化上,以创新的模式实现“政产学研用”的无缝联接,将为支撑我国半导体芯片产业跨越式发展做出更多贡献。

      微电子学院净化实验室建有“集成电路国家先导工艺平台-先进互连子平台”,也是我校“微纳加工与器件平台”的重要组成部分,有千级净化面积约600平方米,百级净化面积100平方米,拥有多功能集束设备(集成了ALD、PVD、MBE、RTP、XPS腔体)、电子束直写设备(EBL)、刻蚀设备(RIE、ICP)、薄膜设备(LPCVD、PECVD、PVD、ALD)、快速热退火(RTP)、微波退火和清洗机等价值9000多万元的设备,具有开展先进纳米CMOS器件和工艺的研发能力。

      最近在半浮栅器件(SFG)、锗硅基隧穿场效应晶体管(TFET)器件、石墨烯基器件以及先进铜互连技术等方面取得重大研究进展。现已全面对外开放实验室设备,欢迎联系洽谈合作使用。 

 

联系人:周鹏  

 联系方式:65642198                              邮箱地址: nanolab@fudan.edu.cn

 

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