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翁铁慧副市长莅临微电子学院净化实验室指导
发表时间:2013-06-07 阅读次数:1862次

      6月4日下午,上海市副市长翁铁慧在市政府副秘书长宗明、市教委苏明主任、袁雯副主任,以及校领导朱之文书记、杨玉良校长、陈晓漫常务副校长、金力副校长等陪同下参观了复旦大学微电子学院净化实验室。微电子学院领导严晓浪院长、闵昊副院长和张卫副院长向翁副市长汇报了净化实验室的整体情况。

      微电子学院净化实验室建有“集成电路国家先导工艺平台-先进互连子平台”,也是我校“微纳加工与器件平台”的重要组成部分,有千级净化面积约600平方米,百级净化面积100平方米,拥有多功能集束设备(集成了ALD、PVD、MBE、RTP、XPS腔体)、电子束直写设备(EBL)、刻蚀设备(RIE、ICP)、薄膜设备(LPCVD、PECVD、PVD、ALD)、快速热退火(RTP)、微波退火和清洗机等价值9000多万元的设备,具有开展先进纳米CMOS器件和工艺的研发能力。

      在净化实验室参观过程中张卫副院长向翁副市长和领导们汇报了微电子学院最近在半浮栅器件(SFG)、锗硅基隧穿场效应晶体管(TFET)器件,以及先进铜互连技术等方面的研究进展。随后,翁副市长参观了微电子学院的成果展,闵昊副院长和俞军副院长向翁副市长一行汇报了“专用集成电路与系统”国家重点实验室的最新进展和成果;在光华楼30楼思源会议室,严晓浪院长汇报了复旦大学微电子学院的建设方案。翁铁慧副市长指出,集成电路产业是战略性新兴产业的核心与基础,关系到国家安全,国家和上海市都高度重视。复旦大学作为我国微电子学科的创建者之一,又地处我国集成电路产业最聚集的地区上海,具有建设好微电子学院的独特优势,希望复旦大学微电子学院围绕国家重大需求,在高端人才培养、科学研究和成果转化上,以创新的模式实现“政产学研用”的无缝联接,为支撑我国半导体芯片产业跨越式发展做出更多贡献。

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