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陈晓漫常务副校长检查微电子净化实验室建设
发表时间:2013-01-15 阅读次数:1926次

        12月25日下午,陈晓漫常务副校长到净化楼对微电子净化实验室的建设工作进行了细致认真的检查。

        微电子净化实验室是专用集成电路与系统国家重点实验室的工艺技术子平台,2010年获得学校“985二期”建设经费的支持,投入近千万元立项改造,目前主体工程已建设完成。改造工程将原有的约500平米的万级超净室重新规划建设成主体千级、部分区域百级、总洁净面积达到约800平米的洁净室。改造后的洁净室放置了先进的集束系统(集成了PVD/ALD/RTP/XPS等)、铜互连先进扩散阻挡层淀积和分析系统、纳米管和石墨烯淀积设备、反应离子刻蚀、微波退火系统等关键设备,成为了02国家重大专项“22纳米关键工艺技术先导研究与平台建设”项目中“互连子平台”建设的重要组成部分。同时洁净室还放置了高端电子束曝光设备 JEOL 6300 FS和ICP刻蚀等关键设备,显著提升了工艺研究方向的科研条件,对微电子学科的发展具有重大意义。

       陈晓漫常务副校长在实地检查过程中,仔细听取了张卫教授对实验室建设、设备购置使用等情况的汇报,并指出学校一直高度重视微电子学科的发展,全面整合资源集中力量加强实验室建设,根据学科特点制定相应政策,以保障国家重大课题特别是国家重大专项的具体实施。

       信息学院党委书记周立志、信息学院副院长刘冉、净化实验室主任吴东平等也参加了实验室的检查汇报。

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